使用靜壓上銀絲桿可以減少摩擦力
運用靜壓技術的目的是消除相對運動部件之間的機械接觸,然后大大減小或消除定位系統(tǒng)中的抵觸力。眾所周知,抵觸是精密定位的首要妨礙,它會影響系統(tǒng)的動態(tài)照應特性并致使穩(wěn)態(tài)差錯。常用的靜壓上銀絲桿首要有空氣靜壓絲桿和液體靜壓絲桿,液體靜壓絲桿相對于空氣靜壓絲杠具有更高的剛度和非常好的精度。
當時可以滿足超精密定位需要的驅動安排首要有: 靜壓上銀絲桿、直線電機、抵觸驅動安排,他們都在實踐中獲得了優(yōu)于10nm 的分辨率。在完結納米級分辨率和定位精度的一起, 工業(yè)運用中更重要的是要選用老到牢靠的機械安排、簡略的控制結構和算法, 并且易于維護、經(jīng)濟性好。靜壓絲桿多用于大型超精密加工設備和超精密測量設備中。由于具有極小的抵觸系數(shù),沒有爬行和反向空地,它可以在較長的行程上堅持納米級的分辨率,并且可以長時間堅持精度。
靜壓上銀絲桿需要附加的靜壓設備、衰減設備和振動克制技術, 本錢較高。一般的用戶都不會選用靜壓絲桿，利用各種能減少摩擦的手段，也能在一定程度上增加絲桿的壽命，這樣可以大大節(jié)約成本。
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